宏微復合平移臺是將標準的測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷相結合，通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的位移,測微頭的分辨率是10μm，再通過控制驅(qū)動電壓使壓電陶瓷相應伸長或縮短到預定位置，從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)，壓電陶瓷行程范圍可達20μm,壓電陶瓷運動的分辨率可＜1nm，這個壓電驅(qū)動測微頭可以對元件進行大行程、高精度定位。

　　產(chǎn)品特點：

　　壓電驅(qū)動標稱行程為20μm

　　運動方向最大推力20N

　　亞納米的分辨率

　　可配套13mm行程的手動平移臺

　　平移臺的最大承載能力1.5kg

　　產(chǎn)品參數(shù)表：