T31壓電掃描臺，可以做成一至三個維度（X/Z/XY/XZ/XYZ），臺體中心方形通孔，更方便應用于需要透光掃描的場合，內部采用無摩擦的柔性鉸鏈導向機構，具有良好的導向精度、高剛性、無磨損等特點，閉環(huán)平臺配置高精度應變傳感器進行全閉環(huán)反饋，實現滿行程超高的重復定位精度。這款產品的應用非常廣泛，從光學掃描研究、光學分析、樣品檢測、像素補償到工業(yè)化OEM系統等都得到廣泛應用。

　　該系列壓電掃描臺的通光孔為45×45mm。如果需要更大的孔徑，請聯系銷售工程師進行定制即可；

　　產品特點：

　　最大位移110μm

　　最大承載0.7kg

　　中心通孔45×45mm

　　閉環(huán)重復定位精度

　　開/閉環(huán)可選

　　典型應用領域：

　　掃描顯微

　　共焦顯微

　　晶圓定位

　　表面測量圖像處理與穩(wěn)定

　　半導體測試

　　樣品掃描分析定位

　　產品參數表：

實物參考圖

　　T31系列產品尺寸圖：